真空的测量

作者：发布时间：2023-06-07 11:50:52点击：691

为了判断和检定真空系统所达到的真空度，必须对真空容器内的压强进行测量。但在真空技术中遇到的气体压强都很低，要直接测量其压力是极不容易的。因此，都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量，再经变换后确定容器压强。当压强改变时，这些和压强有关的特性也随之变化的物理现象，就是真空测量的基础。任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内才最显著。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是该真空计的“量程”。

目前，还没有一种真空计能够测量从大气到10^-10Pa的整个领域的真空度。真空计按照不同的原理和结构可分成许多类型。表2-5列出几种真空计的主要特性。

表 2-5几种真空计的工作原理与测量范围