射频离子源

作者：发布时间：2023-06-28 11:09:41点击：172

射频离子源的工作原理图如图2-25所示。工作气体通过一个专门设计的气体绝缘器进人石英放电室，以1356MHz的射频功率通过电感合进入放电室离化工作气体，形成等离子体。等离子体中的正离子，在通过三层栅网时，先后经历加速和减速两个过程，被成功聚焦加速，形成正离子束。

图2-25 射频离子源工作原理图

中和器提供电子，和正离子束一起，再次形成中性的等离子体。中和器的工作气体为气，也是由13.56MHz的射频激励气体形成等离子体，经过电场加速拉出电子。

图 2-26 为射频离子源的本体和中和器的实物图，其特点为无极放电，可以保持长时间稳定工作，均匀性区域宽，这对于制备比较厚的高性能薄膜非常有优势，另外，射频离子源的离子能量可以精准控制，离子能量可变范围大，可以产生零漂移薄膜。

图2-26 射频离子源本体和中和器实物图