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溅射镀膜工艺-低频交流辉光放电
作者： 发布时间：2023-08-22 10:01:33点击：569
低频交流辉光放电 一般很少采用低频交流辉光放电进行溅射。在频率低于50kHz 的交流电压条件下，离子有足够的活动性，且有充分的时间在每个半周的时间内，在各个电极上建立直流辉光放电。这种放电称为低频交流辉光放电。这一放电基本上与直流辉光放电相同，只是两个电极交替地成为阴极和阳极。
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