溅射特性-溅射阈值

作者：发布时间：2023-08-24 10:16:59点击：361

溅射阙值所谓溅射值是指使靶材原子发生溅射的人射离子所必须具有的最小能量。溅射闽值的测定十分困难，随着测量技术的进步，目前已能测出低于10^-5原子/离子的溅射率。图 2-45是用不同能量的Ar⁺击各种金属元素靶材时得到的溅射率曲线。图 2-46 是不同种类的人射离子以不同能量轰击同一钨靶的溅射率曲线。人射离子不同时，溅射闽值变化很小，而对于不同靶材，溅射阙值的变化比较明显。也就是说，溅射阙值与离子质量之间无明显的依赖关系，而主要取决于靶材料。对处于周期表中同一周期的元素，溅射阙值随着原子序数增加而减小。对绝大多数金属来说，溅射闽值为10~30eV，相当于升华热的4倍左右。表2-14 列出了几种金属的溅射值。

用Ar溅射不同靶材的溅射率曲线