薄膜的吸收和散射测量

作者：发布时间：2023-12-20 10:01:46点击：102

薄膜的吸收和散射测量

吸收和损耗是薄膜的两种主要损耗机制，对于薄膜器件而言，有:R+T+L=0，其中 R 表示光能反射率，T表示光能透过率，L 表示能量损耗率，L 是光能散射耗 (S)与吸收损耗率 (A) 的总和，即 L=S+A。因此，对于损耗较大的薄膜器件，可以通过测试样品的反射率与透射率的方法，间接地测试出薄膜的损耗。但对于微弱损耗的薄膜(薄膜的损耗<10-) 而言，就必须考虑更为灵敏的方法来分别研究测试薄膜器件的吸收与散射损耗。

当薄膜用于高能激光系统时，即使是微量的吸收也会导致薄膜的破坏。薄膜吸收光能后，温度会升高，因此，测量热效应是研究薄膜吸收的基本方法。薄膜的散射损耗是光能在光学薄膜中的另外一种光学损耗，散射损耗的产生可以大致分为两种情况：一种是由界面的粗糙度导致；另一种是由薄膜体内的折射率因颗粒状不均匀性而产生。散射损耗的后果是反射与透射能量减低，同时带来杂散光，影响整个光学系统的性能。