镀膜 S-on-1

作者：发布时间：2025-06-05 10:21:58点击：181

镀膜 S-on-1

使用可以调节能量的脉冲激光，和能够以适当的能量密度照射检测对象的装置。

为了可以改变照射位置将检测对象装载在XY轴位移台上，每次照射结束后改变位置。

重复发射脉冲激光，在同一部位照射S次激光脉冲。

接着改变位置再次以相同能量照射S次。

如此重复地使用相同能量照射检测对象的10个位置。

然后改变激光能量，同样地在10处进行照射S次。

在激光能量可以调节的范围内重复这个操作。

使用150倍的显微镜观察检测对象的薄膜有无损伤。

相对能量密度，在图表中表示损伤的出现率，从出现率曲线求出临界(出现率为0%和0%以上的分界线)的能量密度。

将这个数值定为激光损伤阈值。

※西格玛光机将1回的照射脉冲数量S定为200次，作为200 on 1测试评价。

照射回数和能量密度的照射位置关系