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光学平台的平面度是什么意思

作者: 发布时间:2020-08-27 16:58:50点击:120

光学平台的平面度是什么意思?

 

光学平台的平面度,通常是指单位面积内,被测实际表面相对其理想平面的变动量。通常国外光学平台的平面度指标为:±0.1mm/600mm×600mm,卓立的光学平台,通过精密磨削工艺,将平面度指标提高到0.02 0.05mm/600mm×600mm
      但严格意义上来说,光学平台平面度,对于隔振性能,没有任何影响,甚至若为了追求高平面度,往往会牺牲掉光学平台的隔振性能,原因如下:
      ● 我们知道,光学平台台面,若为达到高平面度,通常需要反复磨削,在加工过程中,多次磨削容易使材料产生形变,为了减少形变,通常要加厚台面,但我们通过振动恢复时间的说明已经知道,台面加厚质量增加,平台的振动恢复时间往往成倍(甚至几倍)增加,在很多精密光学实验中,这是不可接受的;
      ● 光学平台的磨削是有极限的,这个加工的极限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,换算成平方米大约为:±0.03mm/m2,但这个平面度,同大理石平台的平面度相差甚远。大理石平台根据平面度指标一般分为:000级(平面度≤3μm/m2)、00级(平面度≤5μm/m2)、0级(平面度≤10μm/m2)。换句话说,平面度好的光学平台,同低等级的大理石平台相比,平面度还差数倍甚至一个数量级,所以若您需要高平面度的台面,强烈建议您选购大理石平台;
      ● 光学平台的平面度在使用时,实际意义不大。我们以平整的台面(实际上是不可能的)来看,若长××厚为:2000×1000×200mm,通常调整水平时,水平仪的小刻度为±30′,若假设实际过程中,水平方向调整精度若为5′,长度方向取2000mm,那么,台面长度方向两端的高度差=2000×tan5′2.9mm,也就是说,就算平整的台面,调整水平后,台面长度方向两端的高度差很有可能达到3mm,所以实际使用情况中,平面度的指标意义不大;
      ● 对于平台上的光学元件来说,平面度引起的高度差,通常可以忽略不计,若确有必要考虑高度差,则完全可以通过卓立精密调整的位移台来实现。综上所述,光学平台的平面度,同光学平台的隔振性能不相关,只能做为光学平台的一个辅助指标,供参考。 

 

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