光学方法-等厚干涉条纹发

作者：发布时间：2023-07-26 11:01:00点击：418

等厚干涉条纹法如果在楔形薄膜上产生单色干涉光，在一定厚度下就能满足最大和最小的干涉条件，因此，能观察到明暗相间的平行条纹。这已成为膜厚测量的标准方法。如果厚度不规则，则干涉条纹也呈现不规则的形状图 2-36是等厚干涉条纹测量法的原理示意图。产生干涉的膜层是由一小角度的两块光学平板之间的空气隙所形成，其中一块蒸镀有被测薄膜，并在其表面上形成台阶，两块平板上都蒸镀有相同材料的金属薄膜。由于两者之间间隔很小，于是干涉条纹就非常窄。如图 2-37 所示，如果L是条纹间距，AL 是条纹的位移，则薄膜厚度可由下式给出

t = △L/L * λ/2

式中，λ是单色光的波长。

等厚干涉条纹测量法原理在薄膜台阶处干涉条纹的位移