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反射式光学系统-奥凡纳（Offner）物镜
作者： 发布时间：2022-08-09 11:39:49点击：675
奥凡纳（Offner）物镜
如图1所示是一种深紫外（DUV）投影光学系统。奥凡纳物镜的设计非常精巧，它产生一个环形视场，环形视场内所有像差都被校正近于零（光学系统结构参数略）。该系统的原始专利在1973年被批准（USP3748015）,简述如下：
将凸球面反射镜和凹球面反射镜的曲率中心安排重合在一点，则构成全反射系统，它以倍率为1x的高分辨率成像，能提供精确的微小细节。在反射系统内产生至少三次反射，并在包含曲率中心的平面内以倍率为1x提供两个离轴共轭区域。系统的轴就是垂直于包含曲率中心的平面并通过物面中心的轴。这种组合所用的反射镜面的光焦度代数和为零时，所产生的像没有三级像散和场曲。
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