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反射式光学系统-施瓦氏希尔德（Schwarzschild）反射型显微物镜
作者： 发布时间：2022-08-10 10:01:37点击：845
1985年开始报道了紫外光学系统设计用于EUVL。1989年由Kinoshita等人用一个倍率小于1的施瓦氏希尔德反射型物镜光学系统，以同步加速器辐射作为光源的第一个实验结果达到0.5的分辨率。该光学布置如图1所示。1990年Bjorholm等人也使用施瓦氏希尔德物镜和同步加速器辐射源给出了0.1μm分辨率，基本上达到了衍射极限性能。后来，C.W.Tichenor等人于1991年用激光等离子体光源重复了这些结果。
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