膜厚的分类

作者：发布时间：2023-07-05 10:14:36点击：145

所谓薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的 1~10的原子层或分子层。在此方向上，薄膜具有微观结构。

厚度是指两个完全平整的平行平面之间的距离，是一个可观测到实体的尺寸。因此，这个概念是一个几何概念。理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的，其他的两维方向具有宏观大小所以，表示薄膜的形状，一定要用宏观方法，即采用长、宽、厚的方法。从这个意义上讲，膜厚既是一个宏观概念，又是微观上的实体线度。由于实际上存在的表面是不平整和不连续的，而且薄膜内部还可能存在着针孔、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。所以要严格地定义和精确测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。因此，同一薄膜，使用不同的测量方法将得到不同的结果，即不同的厚度。

经典模型认为，物质的表面并不是一个抽象的几何概念，而是由刚性球的原子(分子)紧密排列而成，是实际存在的一个物理概念。