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三种膜厚的测试方法
作者: 发布时间:2023-07-06 10:36:07点击:126
在形状膜厚的测量方法中,触针法和多次反射干涉法最常用,由它们所确定的膜厚,确实是由表面的形状所决定。在质量膜厚测定中,天平法最常用,但难以实现自动测试,为此多采用石英晶体振荡法代替。一般说来,只要厚度随薄膜物性变化,都能用于物性厚度的测量。并且由于这种方法的灵敏度高、测试容易和比较直观等,所以电物性和电光性的膜厚测量方法应用最广泛。
上述的测量方法,一些方法只能用于薄膜形成以后的测量,而另一些方法则可在薄膜形成的实际过程中监控其膜厚的变化。通过测量单位时间内薄膜的生长厚度,就能用这些监控膜厚的方法来测定薄膜的淀积速率。
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