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电学方法-电容法
电容法
电介质薄膜的厚度可以通过测量它的电容量来确定。根据这一原理可以在绝缘基板上,按设计要求先淀积出叉指形电极,从而形成平板形叉指形电极,从而形成平板形叉指电容器。当未淀积介质时,叉指电容值主要由基板的介电常数决定。而在叉指上淀积介质薄膜后,其电容值由叉指电极的间距和厚度,以及淀积薄膜的介电系数决定。只要用电容电桥测出电容值,便可确定淀积的膜厚。
另一种方法是在绝缘基板上先形成下电极,然后淀积一层介质薄膜后,再制作上电极,使之形成一个平板形电容器。然后根据平板电容器公式,在测出电容值后,便可计算出淀积介质薄膜的厚度。显然,这种方法只能用于淀积结束后的膜厚测量,而不能用于淀积过程的监控。计算时所需要的e 值,可取块材介质的介电系数值。
由于确定介电系数和平板电容器或叉指电容器的表面积 (电极) 所造成的误差,限制了这种方法的准确性。
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