电学方法-电离法

作者：发布时间：2023-07-19 10:53:42点击：131

电离法

电离法测量膜厚是基于电离真空计的工作原理，在真空蒸发过程中，蒸发物的蒸气通过一只类似 B-A 规式的传感规时，与电子碰撞并被电离，所形成离子流的大小与蒸气的密度成正比。由于残余气体的影响，传感规收集到的离子流由蒸发物蒸气和残余气体两部分离子流组成。如果用一只补偿规测出残余气体离子流的大小，并将两只规的离子流送到差动放大器，再通过电路补偿消除残余气体的离子流，这样得到的差动信号就是蒸发物质的蒸发速率信号利用此信号可以实现蒸发速率的测量与控制。

电离式监控计只适于真空蒸发镀膜工艺。所用传感规实际上是经过改型的B-A真空规，其结构示意图如图2-33 所示。补偿规的尺寸与传感规定完全相同二者灵敏度尽可能一致。图2-34示出了电离式监控计的原理框图。差动放大器将传感规和补偿两个离子流之差进行放大，就成为蒸发速率信号，再将该信号送到自动平衡记录仪，并同时通过放大调节器送到磁放大器，就可实现对蒸发电源进行自动调节，从而达到控制蒸发速率的目的。

传感规结构示意图.jpg