溅射镀膜工艺-动量转移理论

作者：发布时间：2023-09-07 10:52:37点击：445

动量转移理论对于溅射特性的深入研究，各种实验结果都表明溅射完全是一个动量转移过程。现在，这一观点已成为定论，因而，溅射又称为物理溅射。

动量转移理论认为，低能离子碰撞靶时，不能从固体表面直接溅射出原子而是把动量转移给被碰撞的原子，引起晶格点阵上原子的链锁式碰撞。这种碰撞将沿着晶体点阵的各个方向进行。同时，碰撞因在原子最紧密排列的点阵方向上最为有效，结果晶体表面的原子从邻近原子那里得到越来越大的能量，如果这个能量大于原子的结合能，原子就从固体表面被溅射出来。动量转移理论能很好地解释热蒸发理论所不能说明的(如溅射率与离子入射角的关系、溅射原子的角分布规律等)规律。