行业知识
新闻资讯
- 诚挚邀请您出席《粤港澳物理学会2025联合年会暨量子科技论坛》
- 诚挚邀请您出席《全国光学与光学工程 2025博土笔学术联赛》
- 诚挚邀请您出席《2024年广东省物理学会学术年会暨中山大学物理学科百年论坛》
- 诚挚邀请您出席《2023粤港澳大湾区智能微纳光电技术学术会议》
联系我们
联系人： 周先生
手机： 13288666664
电话： 020-38880135 020-38880857
邮箱： sales01#gzyuli.com
地址： 广州市天河区儒林大街后园路35号E座107房
行业知识
溅射镀膜工艺-热蒸发理论
作者： 发布时间：2023-09-06 10:48:53点击：518
热蒸发理论
热蒸发理论早期有人认为，溅射现象是被电离的气体的荷能正离子，在电场的加速下轰击靶表面，而将能量传递给碰撞处的原子，结果导致靶表面碰撞处很小区域内，发生瞬间强烈的局部高温，从而使这个区域的靶材料熔化，发生热蒸发。
热蒸发理论在一定程度上解决了溅射的某些规律和溅射现象，如溅射率与靶材料的蒸发热和轰击离子的能量关系、溅射原子的余弦分布规律等。但是，这一理论不能解释溅射率与离子入射角的关系; 单晶材料溅射时，溅射原子的角分布的非余弦分布规律; 以及溅射率与入射离子质量的关系等。
相关标签：
- 上一个：溅射镀膜工艺-溅射机理
- 下一个：溅射镀膜工艺-动量转移理论
新闻资讯
-
2025-10-30 10:15:28
固定式镜架（公制/英制尺寸共用） LHF-S
-
2025-10-29 10:08:16
固定式镜架（薄透镜） LHG
-
2025-10-28 10:02:35
光轴变换组件 BSRU
-
2025-10-23 10:57:52
光轴变换件 BSR
-
2025-10-22 10:55:10
大型精密万向式镜架 MHD
-
2025-10-21 10:51:27
2维上方可调镜架 / LMHB
客服1 
客服2