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西格玛光机—电介质膜和多层防反射膜

作者: 发布时间:2020-03-28 23:40:19点击:408

电介质膜

电介质材料无色透明,没有像金属那样大的反射或吸收。 如果选择适当的材质和膜厚,在玻璃基板,薄膜和空气的分界面会产生干涉效果,可以得到特定的透过率·反射率的波长特性。

单层防反射膜

光线射入玻璃基板时,会产生4%左右的反射而造成透过率的损失。但是,通过在玻璃基板上蒸镀比玻璃的折射率更低的电介质膜,可以改变玻璃基板的反射率。

调节电介质膜的厚度使其光程(折射率n×膜厚d)为λ/4时,可以相互抵消玻璃基板和电介质膜,电介质膜和空气的分界面的反射,将反射率降到最低。

但是,由于折射率受到薄膜材料的限制,所以反射率不能完全为零。而且,由于受玻璃基板折射率的限制,所以并不是所有玻璃基板都能得到防反射效果。

单层电介质防反射膜的结构示意图

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单层防反射膜(SLAR)反射率的波长特性

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多层防反射膜

由于单层膜材料的选择范围很小,而且玻璃基板会残留一些反射。因此,通过重叠蒸镀几层薄膜,即使使用很少的薄膜材料也可以得到最佳的防反射效果。

此外,可以改变薄膜的构成,制造出降低特定波长的反射率的窄带防反射膜(NMAR),或制造出在宽波长谱区降低反射率的宽带防反射膜(MLAR)。

多层电介质防反射膜的结构示意图

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窄带防反射膜(NMAR)反射率的波长特性

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宽带防反射膜(BMAR)反射率的波长特性

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