光学平台-扭矩刚度（俯仰·偏摆·转动）

作者：发布时间：2020-04-16 17:36:27点击：559

扭矩刚度（俯仰·偏摆·转动）

扭矩刚度表征在偏离台面中心的位置上施加某一载荷时的平台倾斜程度。
（台面中心和工件重心不一致。）
我们定义在距离台面中心1cm的位置上加载1N的负载时而引起的台面的倾斜角度（单位：秒）为扭矩刚度。

姿态精度

俯仰

平台在移动过程中，在俯仰方向的台面的角度变化量。
我们定义其在全行程动作过程中的最大角度变化量为俯仰精度。

平行度

我们定义在固定不动时的平台台面与固定用基准面的平行程度为平行度。

偏摆

平台在移动过程中，在偏摆方向的台面的角度变化量。
我们定义其在全行程动作过程中的最大角度变化量为偏摆精度。

（参考）XY轴平台的精度测量

最小位移量（MIM）

我们定义在平台的3个特定位置（两端和正中间）进行定位时，可实现的最小移动分辨率为最小位移量。
验证方法：分别在各个位置上，指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时，分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。

（参考数据）最小位移量（MIM） HST-50X