光学平台-真空用自动平台介绍

作者：发布时间：2020-04-23 12:01:41点击：648

真空用自动平台介绍

所谓真空用平台系列，是指可以用于真空环境的，使用了不锈钢材料或铝合金整体结构和真空用润滑油脂的，配备了真空污染较少的真空用电机和接触式或机械式真空开关，以及选用了特氟隆绝缘电线的平台。
推荐使用的真空度在10－4〜10－5Pa左右。其详细真空特性请参考出气量，真空度，质量成分比测定数据。

除标准产品系列外，我们还承接电机更换，传感器更换，或大型镜架的真空用改造。如使用真空度要求不高，也可选用标准平台，但把导轨和丝杠部的润滑更换为真空油脂。详情欢迎咨询。

注意

在真空环境中，一般而言，其散热条件比大气环境差。请注意确认，保证电机外壳的温度不超过80℃。

[定制例]
真空用大型镜架

信息

在真空腔内使用真空用平台时，需要用到真空侧－大气侧间的密闭型接线柱中继，请根据真空腔的指标自行选配。

放出气体量

评价装置的技术指标

排气装置 :

涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度 : 300ℓ/sec

质量分析装置 :

四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围 : 1 - 200amu

放出气体量Q可从以下公式估算。

根据实际测量结果可知，从真空用自动平台中放出的气体成分主要是水蒸汽和氮气。

其主要来源为附着在平台表面的大气成分。我们据此推测，真空用润滑油脂对真空度的影响不大。

真空腔内的真空度

质量成分比例

资料

质谱峰的解释

利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下。

残留气体谱线一览表

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