光学平台-压电陶瓷平台综合介绍

作者：发布时间：2020-04-24 16:46:12点击：715

压电陶瓷平台综合介绍

西格玛精密平台在机构上使用了无空行程的弹性变形金属结构以及压电陶瓷的变形放大机构。
本公司的独创设计，实现了闭环控制时的10nm的分辨率，是高速度，精密定位用最合适的自动平台。

SFS系列的构造

变形放大方法

压电陶瓷驱动机构和变形放大机构实现了较大的行程范围。

小位移传感器

不需要高精度的模拟信号放大器或AD变换回路，就可以实现闭环控制。

SFS-H内部构造图

SFS系列的使用环境

请在指定工作温度范围内使用精密位移台。

* 使用环境
温度 : 10℃ - 30℃
湿度 : 20％ - 60％（非结露）

* Recommended environment
温度 : 20℃ ± 1℃
湿度 : 40％以下

SFS/SFS-H系列位移台上使用的压电陶瓷元件，在高湿度的环境中使用时，其耐久性可能会恶化，请注意。

SFS系列配置图

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