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2023-07-26 11:01:00
光学方法-等厚干涉条纹发
等厚干涉条纹法 如果在楔形薄膜上产生单色干涉光,在一定厚度下就能满足最大和最小的干涉条件,因此,能观察到明暗相间的平行条纹。这已成为膜厚测量的标准方法。如果厚度不规则,则干涉条纹也呈现不规则的形状图 2-36是等厚干涉条纹测量法的原理示意图。产生干涉的膜层是由一小角度的两块...
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2023-07-27 11:07:06
触针法
触针法 这种方法在针尖上镶有曲率半径为几微米的蓝宝石或金刚石的触针,使其在薄膜表面上移动时,由于试样的台阶会引起触针随之做阶梯式上下运动。再采用机械的、光学的或电学的方法,放大触针所运动的距离并转换成相应的读数,该读数所表征的距离即为薄膜厚度。例如,触针钻石探头半径为0.00...
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2023-11-16 10:05:58
光学薄膜检测技术-干涉法测量薄膜厚度
光学薄膜检测技术-干涉法测量薄膜厚度 干涉法是利用相干光干涉形成等厚干涉条纹的原理来确定薄膜厚度和折射率的。根据干涉条纹方程,对于不透明膜,有d=( q+c/e)*λ/2 (3-4)对于透明薄膜,有d=(q+c/e)*λ /2(nf-1) (3-5) 上...
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2023-11-15 10:53:24
光学薄膜检测技术-影响测量准确度的因素
光学薄膜检测技术-影响测量准确度的因素 在利用分光光度计进行薄膜透过率和反射率的测量时,所需要注意的影响测量结果的主要因素有以下几点: 1)测量口径:测量中应保证光全部穿过样品,不能全部贯穿则会造成测量误差。如果在实际测量中遇到样品小于光束的情况,可以在光路中加入小孔径...
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2023-11-21 10:27:49
光学薄膜检测技术-光学薄膜损伤测量标准及判定
光学薄膜检测技术-光学薄膜损伤测量标准及判定 广义上讲,光学薄膜的激光损伤可定义为元件“由于激光的作用而使薄膜的性能或者结构发生了可观察的变化”。由此,光学薄膜的损伤可分为可逆性损伤与非可逆性损伤两类。非可逆性损伤指由于激光作用,元件局部或整体的结构/物性发生了可观察的...
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2023-11-09 10:01:38
光学薄膜检测技术-薄膜透过率测量
光学薄膜检测技术-薄膜透过率测量 利用分光光度计测量薄膜元件的透射率的操作十分简单,一般只要把待测原件插入样品室的测量光路中即可。在利用分光光度计进行透过率测量时,仪器测量的是通过样品光路到达检测器的光强度与通过参比光路到达检测器的光强度的比值,称之为透过率。在实际测量过程中...
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2023-11-14 10:01:50
光学薄膜检测技术-薄膜反射率测量
光学薄膜检测技术-薄膜反射率测量薄膜反射率的测量不如透射率那样方便和普及。反射率的测量比透射率要复杂和困难。其主要原因是;1)不容易找到在很宽波段范围中具有 100%反射率性能的长期稳定的参考样品。2) 在反射率测量中,由于反射光路的变化灵敏,有样品和无样品时,光斑在光电探测器光...
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2023-11-07 10:01:50
光学薄膜检测技术-分光光度计的基本原理
光学薄膜检测技术-分光光度计的基本原理 单色仪型的分光光度计的主要组成部分如图 3-1所示。光源发出要检测波段的光束,经过照明系统的光束整形后汇聚于单色仪的入射狭缝,经单色仪分光后由出射狭缝出射单色光,经过样品池后,为光电传感器接收,转化为电子信号后进入计算机处理。分光光度计...