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产品简介：
利用编码器的位置信息，通过反馈控制实现对目标位置的定位、定位的重复性和高分辨率的位置保持。
工作台有20mm和50mm两种行程。
规格 | |||
零件编号 | fs-1020spx | fs-1050spx | |
JP价格[¥] | 450,000 | 550,000 | |
机械规格 | 行程[mm] | 20 | 50 |
台面尺寸[mm] | 60×60 | 120×120 | |
丝杠[mm] | 滚珠丝杠直径φ4，导程1mm | 滚珠丝杠直径φ6，导程1mm | |
导轨形式 | 十字滚轮 | ||
主要材料 | 铝合金 | ||
表面处理 | 黑色阳极氧化 | ||
电机类型 | □28mm5相步进电机 | ||
自重[公斤] | 0.5 | 1.6 | |
精确规格 | 定位精度[nm]1 | 5 | 5 |
重复定位精度[nm]1 | +/- 10 | +/- 10 | |
承重[N] | 49(5kgf) | 98(10kgf) | |
运行平行度[μm] | 10 | 10 | |
最大速度[毫米/秒] | 5 | 5 | |
传感器 | 极限位置传感器 | 有 | |
原点传感器 | 无 | ||
接近原点传感器 | 无 | ||
配件 | 信号循环 | 2μm | |
刻度电缆（2） | 2米 | ||
1：内置刻度读取的最小分辨率和位置重复性精度。
刻度电缆直接从舞台上出来。 如果2米或更长的电缆，请分别准备“扩展电缆
都是必需的。
外形图
- 上一个：西格玛光机1nm反馈平台
- 下一个：西格玛光机1nm反馈平台FS-UPX专用控制器
客服1 
客服2