行业知识

• 2022-08-25 10:28:48

  电润湿透镜（electrowetting liquid lens）-电润湿基本理论

  电润湿基本理论 少量液滴滴于固体基地，它的形状取决于液滴分子间作用力以及液滴分子与基底分子间作用力的相对强度。电润湿（Electrowetting，EW）是指通过调整施加在液滴与绝缘介质下电极之间的电势，来改变液滴于介质表面的湿润特性，从而改变液滴和介质表面的接触角，使液滴产...

• 2022-08-04 10:01:52

  紫外光学材料-日本Ohara公司的i-line玻璃

  日本Ohara公司开发了i-line玻璃，宣布一个UV透射型玻璃族。在紫外、可见和红外波段均可透过，而在i-line（365nm谱线）附近有很高的内透过率。

• 2022-08-03 10:11:40

  紫外光学材料-德国Shott公司的紫外玻璃

  德国Shott玻璃公司开发出两种紫外玻璃LITHOSIL-Q和LITHOTEC-CAF2，分别在260nm和250~2500m均有很高的内透过率。所谓内透过率（Ti，ti），就是完全校正发射损失和任何窗口的吸收后，通过样品的辐射能与入射的辐射能的比值。“校正”表面反射损失的...

• 2022-08-24 10:20:51

  自适应光学系统-折射率变化型

  折射率变化型自适应光学系统通过改变透镜折射率实现变焦。图1示意了透镜孔径内的折射率变化情况。假设改变外电压可以改变材料的折射率。如图1中直线所示，初始状态下，材料的折射率分布是均匀的；如图1中曲线所示，当外在材料上施加电压后，折射率呈梯度分布。

• 2022-08-23 10:03:11

  自适应光学系统-表面结构变化型

  表面结构变化型自适应光学系统通过改变透镜形状实现变焦，材料通常选用弹性固体或液体。改变透镜形状的两种不同方式如图1所示。假设透镜放置于水平面内，中心与x轴重合。在图1（a）中，透镜的体积不变。初始条件下，透镜的孔径（直径）是ab（虚线所示）。在变形之后，透镜的孔径变为a&#...

• 2022-08-18 10:52:59

  自适应光学系统

  自适应光学系统是以光学波前为对象的自动控制系统，利用对光学波前的实时测量-控制-校正，可使光学系统具有自动适应外界条件变化、始终保持良好工作状态的能力。其基本组成见下图1。

• 2022-08-17 10:45:36

  折反射式光学系统

  图1为一个紫外（UV光谱波段）折反射式物镜，NA=0.72，倍率M=53x，以及后焦距f' =0.130mm。第一镜面的像距为1.461mm。孔径光阑位于第二反射镜上，视场被氟化钙负透镜所限。在视场中央可以得到接近衍射极限分辨。由于该系统严重偏离于对称性，故在视场边...

• 2022-08-16 10:12:01

  折射式紫外光学系统-深紫外（DUV）重复步进相机投影光学系统

  深紫外（DUV）重复步进相机投影光学系统 该投影光学系统的作用是把掩模图样的缩小像传送到涂有抗蚀剂的晶片上。要求必须在视场内达到芯片设计的最小特征尺寸。在DUV物镜中有很多透镜可达到所希望的功能，如图1（a）所示是该种镜头之一。 图2为深紫外（DUV）波长区间的DUV-A...