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  • 一般说来,真空蒸发(除电子束蒸发外)与化学气相沉积、溅射镀膜等成膜方法相比较,有如下特点:设备比较简单、操作容易;制成的薄膜纯度高、质量好,厚度可较准确控制;成膜速率快、效率高,用掩模可以获得清晰图形;薄膜的生长机理比较单纯。这种方法的主要缺点是,不容易获得结晶结构的薄膜,...

  • 2023-06-13 11:09:25

    热蒸发镀膜机理介绍

    真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀)是在真空室中,加热蒸发器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸气流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,凝结形成固态薄膜的方法。由于真空蒸发法或真空蒸镀法主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生,所以又称热蒸发法。采用这种方法制造...

  • 2023-06-08 11:15:44

    热偶真空计

    热偶真空计是利用低压强下气体的热传导与压强有关的原理制成的真空计。当压强较高时,气体传导的热量与压强无关,只有当压强降到低真空范围,才与压强成正比。 电源加热灯丝产生的热量Q将以如下3种方式向周围散发,即辐射热量Q1、灯丝与热偶丝的传导热量Q₂以及气体分子碰撞灯丝而带走...

  • 2023-06-07 11:50:52

    真空的测量

    为了判断和检定真空系统所达到的真空度,必须对真空容器内的压强进行测量。但在真空技术中遇到的气体压强都很低,要直接测量其压力是极不容易的。因此,都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量,再经变换后确定容器压强。当压强改变时,这些和压强有关的特性也随之变化的物理现象,就是真...

  • 2023-05-31 10:02:33

    长波通滤光片的设计

    长波通滤光片的基础膜系为(0.5H L 0.5H)s,其中,H代表高折射率材料,L代表低折射率材料。按照前面介绍的短波通滤光片的设计方法,设计要求为波长400~500nm,R>99%;波长550~850nm,T>90%。长波通滤光片的透射率曲线如图1所示。

  • 2023-06-01 11:10:10

    带通滤光片的设计

    带通滤光片是指某波段内透射率很高而其两旁透射率很低的滤光片。(1)主要参数1)λ0:通带的中心波长;2)Tmax:中心波长处的透射率,也称峰值透射率;3)半宽度2△λ:透射率为峰值透射率一半的波长宽度。(2)宽带滤光片 宽带滤光片是相对于窄带滤光片而言的,两者之间并没有严格的界限...

  • 2023-06-06 10:31:19

    金属膜与介质膜的比较

    表1列出了金属膜和介质膜的理想性质。实际的材料或多或少地会偏离这些理想材料,如介质有一定的消光系数k,而金属也有一定的实数折射率n。如果它们都很小,则金属膜和介质膜的导纳y分别简单地表示为-ik和n。 介质膜具有干涉效应,具有随波长或厚度的变化而呈周期性变化的性质。位相...

  • 对于棱镜分光镜,入射介质通常是玻璃,这时,单层λ0/4的高折射率薄膜的反射率比平板分光镜的更低。如图1所示,是分别镀制在平板分光镜和棱镜分光镜中的单层硫化锌薄膜反射率曲线。由图1可知,对于棱镜分光镜,要达到同样分光效果需要采用更多的膜层。常用的膜系为G| HLHL2H| G、G ...

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