行业知识

• 2023-08-09 10:53:36

  溅射镀膜工艺-辉光放电

  辉光放电: 当放电容器两端电压进一步增加时，汤森放电的电流将随着增大。当电流增至 C点时，极板两端电压突然降低，而这时电流突然增大，并同时出现带有颜色的辉光，此过程称为气体的击穿，图中电压 VB称为击穿电压击穿后气体的发光放电称为辉光放电。这时电子和正离子是来源于电子的碰...

• 2023-08-08 10:50:31

  溅射镀膜工艺-汤森放电区

  汤森放电区: 在两极电压逐渐升高，电子的运动速度逐渐加快，电子与中性气体分子之间的碰撞不再是低速时的弹性碰撞，而是使气体分子电离。电离为正离子与电子，新产生的电子和原有电子继续被电场加速，使更多的气体分子被电离，于是在伏安曲线上便出现汤森放电区。 无光放电和汤森放电两种...

• 2023-08-03 10:39:00

  溅射镀膜工艺-无光放电

  无光放电: 由于在放电容器中充有少量气体，因而始终有一部分气体分子以游离状态存在着。当两电极上加直流电压时，这些少量的正离子和电子将在电场下运动，形成电流。由于气体分子在这种情况下的自然游离数是恒定的，所以，当正离子和电子一但产生，便被电极拉过去。即使再升高电压，到达电极的...

• 2023-08-02 10:24:16

  溅射镀膜工艺-直流辉光放电

  直流辉光放电 溅射是辉光放电中产生的，因此，辉光放电是溅射的基础。辉光放电是在真空度约为 10~1Pa 的稀薄气体中，两个电极之间加上电压时产生的一种气体放电现象。气体放电时，两电极间的电压和电流的关系不能用简单的欧姆定律来描述因为二者之间不是简单的直线关系。图 2-39 ...

• 2023-08-01 10:51:16

  溅射镀膜机理介绍

  所谓“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面 (靶)，使固体原子(或分子)从表面射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态，常称为溅射原子。用于轰击靶的荷能粒子可以是电子、离子或中性粒子，因为离子在电场下易于加速并获得所需动能，因此大多采用离子作为轰击粒子，该粒子又称入射离子。由于直接实...

• 2023-07-13 09:55:50

  电学方法 -电阻法

  电阻法由于电阻值与电阻体的形状有关，利用这一原理来测量膜厚的方法称电阻法。电阻法是测量金属薄膜厚度最简单的一种方法。由于金属导电膜的阻值随膜厚的增加而下降，所以用电阻法可对金属膜的淀积厚度进行监控以制备性能符合要求的金属薄膜。但是，随着薄膜厚度的减小，电阻增大的速率比预料的要大。...

• 2023-07-27 11:07:06

  触针法

  触针法 这种方法在针尖上镶有曲率半径为几微米的蓝宝石或金刚石的触针，使其在薄膜表面上移动时，由于试样的台阶会引起触针随之做阶梯式上下运动。再采用机械的、光学的或电学的方法，放大触针所运动的距离并转换成相应的读数，该读数所表征的距离即为薄膜厚度。例如，触针钻石探头半径为0.00...

• 2023-07-26 11:01:00

  光学方法-等厚干涉条纹发

  等厚干涉条纹法 如果在楔形薄膜上产生单色干涉光，在一定厚度下就能满足最大和最小的干涉条件，因此，能观察到明暗相间的平行条纹。这已成为膜厚测量的标准方法。如果厚度不规则，则干涉条纹也呈现不规则的形状图 2-36是等厚干涉条纹测量法的原理示意图。产生干涉的膜层是由一小角度的两块...