行业知识

• 2023-09-07 10:52:37

  溅射镀膜工艺-动量转移理论

  动量转移理论 对于溅射特性的深入研究，各种实验结果都表明溅射完全是一个动量转移过程。现在，这一观点已成为定论，因而，溅射又称为物理溅射。 动量转移理论认为，低能离子碰撞靶时，不能从固体表面直接溅射出原子而是把动量转移给被碰撞的原子，引起晶格点阵上原子的链锁式碰撞。这种碰...

• 2023-09-06 10:48:53

  溅射镀膜工艺-热蒸发理论

  热蒸发理论 热蒸发理论早期有人认为，溅射现象是被电离的气体的荷能正离子，在电场的加速下轰击靶表面，而将能量传递给碰撞处的原子，结果导致靶表面碰撞处很小区域内，发生瞬间强烈的局部高温，从而使这个区域的靶材料熔化，发生热蒸发。 热蒸发理论在一定程度上解决了溅射的某些规律和溅射...

• 2023-08-31 10:02:59

  溅射过程-淀积过程中的污染

  淀积过程中的污染: 众所周知，在通人溅射气体之前，把真空室内的压强降低到高真空区内 (10-4Pa)是很必要的。因此，原有工作气体的分压极低即便如此，仍可存在许多污染源: 1.真空室壁和真空室中的其他零件可能会吸附气体、水汽和二氧化碳。由于辉光中电子和离子的轰击作用，这些气体...

• 2023-08-24 10:16:59

  溅射特性-溅射阈值

  溅射阙值 所谓溅射值是指使靶材原子发生溅射的人射离子所必须具有的最小能量。溅射闽值的测定十分困难，随着测量技术的进步，目前已能测出低于10-5原子/离子的溅射率。图 2-45是用不同能量的Ar+击各种金属元素靶材时得到的溅射率曲线。图 2-46 是不同种类的人射离子以不同能...

• 2023-08-17 10:35:03

  溅射镀膜工艺-辉光放电阴极附近的分子状态

  辉光放电阴极附近的分子状态 如前所述，由于在冷阴极发射时，从阴极发射的电子的初始能量只有 1eV 左右，所以与气体分子不发生相互作用。故在非常靠近阴极的地方是黑暗的，这就是阿斯顿暗区。在使用氯、氛之类工作气体时，这个暗区很明显。可是对于其他气体，这个暗区就很窄，难以观察到。...

• 2023-08-16 11:08:48

  溅射镀膜工艺

  正常与异常辉光放电： 两电极之间维持辉光放电时，放电电压与电流之间的函数关系如图2-39 所示。在一定的电流密度范围内 (可为 2~3 个数量级)，放电电压维持不变。如前所述，这一区域称为正常辉光区。在此区域内,阴极的有效放电面积随电流增加而增大，从而使阴极有效区内电流密度保持恒...

• 2023-08-15 11:05:56

  溅射镀膜工艺-弧光放电区

  弧光放电区: 异常辉光放电时，在某些因素影响下，常有转变为弧光放电的危险。此时，极间电压陡降，电流突然增大，相当于极间短路。且放电集中在阴极的局部地区，致使电流密度过大而将阴极烧毁。同时，骤然增大的电流有损坏电源的危险。弧光放电在气相沉积中的应用，仍在进一步研究之中。

• 2023-08-10 10:58:25

  溅射镀膜工艺-非正常辉光放电区

  非正常辉光放电区: 在轰击覆盖住整个阴极表面之后，进一步增加功率放电的电压和电流密度将同时增大，进入非正常辉光放电状态。其特点是:电流增大时，两放电极板间电压升高，且阴极电压降的大小与电流密度和气体压强有关。因为此时辉光已布满整个阴极，再增加电流时，离子层已无法向四周扩散这...