行业知识

• 2023-11-16 10:05:58

  光学薄膜检测技术-干涉法测量薄膜厚度

  光学薄膜检测技术-干涉法测量薄膜厚度 干涉法是利用相干光干涉形成等厚干涉条纹的原理来确定薄膜厚度和折射率的。根据干涉条纹方程，对于不透明膜，有d=( q+c/e）*λ/2 （3-4）对于透明薄膜，有d=（q+c/e）*λ /2(nf-1) (3-5) 上...

• 2023-11-15 10:53:24

  光学薄膜检测技术-影响测量准确度的因素

  光学薄膜检测技术-影响测量准确度的因素 在利用分光光度计进行薄膜透过率和反射率的测量时，所需要注意的影响测量结果的主要因素有以下几点: 1)测量口径:测量中应保证光全部穿过样品，不能全部贯穿则会造成测量误差。如果在实际测量中遇到样品小于光束的情况，可以在光路中加入小孔径...

• 2023-09-05 10:01:33

  溅射镀膜工艺-溅射机理

  溅射现象很早就为人们所认识，通过大量实验研究，对这一重要物理现象得出以下几点结论:1) 溅射率随入射离子能量的增加而增大;而在离子能量增加到一定程度时,由于离子注入效应，溅射率将随之减小;2) 溅射率的大小与入射粒子的质量有关;3) 当入射离子的能量低于某一临界值 (闽值) 时，...

• 2023-08-30 10:01:35

  溅射过程-沉积薄膜的纯度

  沉积薄膜的纯度: 为了提高淀积薄膜的纯度，必须尽量减少淀积到基片上杂质的量。这里所说的杂质主要指真空室的残余气体。因为，通常有约百分之几的溅射气体分子注人淀积薄膜中，特别在基片加偏压时。若真空室容积为 V.残余气体分压为 P。，氲气分压为 PAr，送人真空室的残余气体量为 ...

• 2023-09-12 10:54:45

  光学薄膜反射率和透过率测量-光谱分析测试系统原理

  透射率与反射率是光学薄膜器件最基本的光学特性，因此，薄膜器件透射率与反射率的测试是光学薄膜的基本测试技术。薄膜的透射率与反射率主要采用光谱测试分析仪进行测试。 作为光谱仪的一种，用于光学薄膜测试的光谱仪可以按照测试波段的不同分成紫外-可见分光光度计、红外分光光度计以及红...

• 2023-08-29 10:02:03

  溅射过程-靶材的溅射过程

  靶材的溅射过程 当入射离子在与靶材的碰撞过程中，将动量传递给靶材原子，使其获得的能量超过其结合能量，才可能使靶原子发生溅射。这是靶材在溅射时主要发生的一个过程。实际上，溅射过程十分复杂，当高能入射离子轰击固体表面时，还会产生如图 2-64 所示的许多效应。例如，入射离子可能...

• 2023-08-23 10:01:38

  溅射镀膜工艺-射频辉光放电

  射频辉光放电 在一定气压下，当阴阳极间所加交流电压的频率增高到射频频率时，即可产生稳定的射频辉光放电。射频辉光放电有两个重要的特征:第一，在辉光放电空间产生的电子，获得了足够的能量，足以产生碰撞电离。因而，减少了放电对二次电子的依赖，并且降低了击穿电压。第二，射频电压能够...

• 2023-08-22 10:01:33

  溅射镀膜工艺-低频交流辉光放电

  低频交流辉光放电 一般很少采用低频交流辉光放电进行溅射。在频率低于50kHz 的交流电压条件下，离子有足够的活动性，且有充分的时间在每个半周的时间内，在各个电极上建立直流辉光放电。这种放电称为低频交流辉光放电。这一放电基本上与直流辉光放电相同，只是两个电极交替地成为阴极和阳...