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设备功能介绍 Key Features

1、配置五维电动耦合模组,自动UV。

2、耦合时实时监控扫描参数(IL,WDL)等进行微调坐标。

3、支持单点测试及扫描测试可计算IL,PDL,RL,WDL等指标。

4、快速的找光耦合算法和扫描测试。

5、光谱仪支持共享多工位。


设备性能指标 Key Performance

TO自动耦合测试台  设备功能介绍 Key Features  1、配置五维电动耦合模组,自动UV。  2、耦合时实时监控扫描参数(IL,WDL)等进行微调坐标。  3、支持单点测试及扫描测试可计算IL,PDL,RL,WDL等指标。  4、快速的找光耦合算法和扫描测试。  5、光谱仪支持共享多工位。  设备性能指标 Key Performance

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