三线摆蜂窝粘接气浮隔振光学平台

这款三线摆蜂窝粘接气浮隔振平台是我司潜心钻研隔振技术，基于多年研发积淀与行业洞察，隆重推出的高性能气浮隔振平台。这款高性能气浮隔振器融合了我们自主创新的核心设计，以独立式圆腿支撑结构，彻底消除系统整体共振风险，确保运行的绝对平稳。

内置的三线摆系统，结合先进的蜂窝粘接构造，缔造出高刚性、强阻尼、超稳定的工作平面，将地面振动隔离至更低水平，为超精密应用提供坚实保障。同时，平台在受到外部扰动后可迅速恢复精准定位，保持持续可靠的工作状态。

该产品还集成我们独有的层流阻尼技术，显著提升阻尼效率；创新的混合腔设计，在紧凑空间内大幅增加柔性体积，进一步降低系统固有频率，使隔振性能迈上新台阶。

三线摆气浮隔振平台搭配使用的蜂窝粘接光学平台内部，可选择安装调谐质量阻尼器（可选配2、4、6个）调谐质量阻尼（TMD）技术消除平台共振。在所有已知的被动阻尼方法种，TMD是最有效的方法，因为它将阻尼力集中在主共振模式的频率上，依高效、高性能的阻尼效果，大多数同类产品所采用的宽频带阻尼方法，在宽频带内平均吸收适量的震动能量，与之相比，调谐质量阻尼方法主要针对共振频率的振动，更加有效。

技术参数：

固有频率：垂直<1.0~1.5Hz，水平<1.0~1.5Hz,（同实际负载相关）垂直共振低至1Hz;

振幅：<0.002;

调节方式：自动定心;

表面粗糙度＜0.8um;

工作复位精度：±0.1mm;

隔振方式：三线摆杆、混合腔结构;

阻尼方式：微米级层流阻尼;

气源：标配静音空气压缩机；

噪音：52db；

减振效率：垂直：5Hz时：85~90%；10Hz时：91~96%,

                      水平：5Hz时：87~92%；10Hz时：92~97%；

气浮隔振系统：

特点：平台由高压气体（压缩空气）支撑，形成一个低摩擦的“气垫”。内置的隔振器能有效隔离来自地面的振动，如 footsteps、机器运转（低频，1-100 Hz）、交通等。

优势：提供了卓越的振动隔离性能，是进行纳米级、亚微米级精密测量的先决条件。

蜂窝芯结构

特点：平台内部不是实心金属，而是由金属板制成的正六边形蜂窝状芯体，类似蜂巢。

优势：超高刚度重量比：在保证巨大刚性和负载能力的同时，大幅减轻了平台自身重量，有利于隔振系统工作。

             优异的平面度：为上面的粘接面板提供了坚固、不易变形的基底。

粘接（无应力）工艺：

特点：上层和底层的钢板不使用传统的焊接或螺栓固定，而是采用特殊的环氧树脂胶粘接到蜂窝芯上。

优势：消除内部应力：避免了焊接热变形和螺栓预紧力带来的长期、不均匀的应力，保证了平台的长期稳定性和平面度。

             增加阻尼：粘接层本身具有粘弹性，可以吸收和耗散平台结构内部的微小振动（高频振动），进一步提高平台的动态稳定性。

三线摆支撑结构：

特点：这是气浮隔振系统的一种经典且高性能的机械结构。混合腔结构，通过柔性铰链或摆杆与平台连接。

优势：优秀的水平方向稳定性：在有效隔离垂直振动的同时，对水平方向的摇摆运动也有很好的抑制。

             高可靠性：结构简单坚固，是超精密平台的黄金标准配置之一。

主要应用领域：

由于其无与伦比的稳定性，这类平台广泛应用于对振动极其敏感的尖端科技领域：

光学与光子学研究：

         激光干涉仪（如引力波探测LIGO、精密测量）；

         全息术；

         光学精密装调与测试（如大口径望远镜镜头、航天相机检测）；

         飞秒激光与超快光学；

显微成像与纳米技术：

         共聚焦显微镜、超分辨率显微镜（STED, PALM/STORM）；

         原子力显微镜、扫描隧道显微镜；

         光刻机的研发和精密部件测试（尤其是EUV光刻技术）；

半导体与集成电路制造：

         晶圆检测设备、掩膜版测量系统；

         精密光刻、电子束曝光等工艺的研发平台；

生物技术与生命科学：

         单分子成像、膜片钳电生理实验；

         细胞操纵与显微注射；

计量与精密制造：

         国家计量标准的传递与比对；

         高精度坐标测量机的核心平台。

规格型号（可定制尺寸）：

粗糙度检测：

平面度检测：

蜂窝芯结构：

实物案例：