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1nm反馈级电动位移台定制

是以1nm分辨率定位的反馈级电动位移台。

产品有20mm、50mm两种行程。

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台面尺寸:60×60mm;

行程:20mm;

重复定位精度*1:±2nm;

Minimum Resolution *1:1nm;

最大移动速度:5mm/sec;

自重:0.7㎏;

运动平行度:10μm;

承载能力:49N(5kgf);

注:可组合多轴,也可组合。


1nm电动位移台.jpg


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