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5nm反馈级电动位移台公司

5nm分辨率定位的反馈级电动位移台。

有20mm、50mm两种行程。


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台面尺寸:60×60mm;

运动平行度:10μm;

行程:20mm;

重定位精度*1:±10nm;

最小分辨率*1: 5nm;

最大移动速度:5mm/sec;

自重:0.5㎏;

线杠:滚珠丝杠直径φ4mm、导程1mm;

承载能力:49N(5kgf);

注:可多轴,也可组合。

5nm自动位移台.jpg


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